Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Вакуумно-плазменное травление
Вакуумно-плазменное травление
Книга (аналит. описание)
Автор:
Элионные процессы и нанотехнологии: Вакуумно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Элионные процессы и нанотехнологии: Вакуумно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Вакуумно-плазменное травление // Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / Ю. В. Панфилов ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 27-32 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 10) .
Вакуумно-плазменное травление // Элионные процессы и нанотехнологии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / Ю. В. Панфилов ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 27-32 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 10) .