Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Современное состояние и тенденции развития технологических операций проекционной литографии при производстве КМОП СБИС // Методы литографии в наноинженерии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 11-31 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 9) .