Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
![](/vmsua5379ghkip/app/webroot/img/doctypes/7.gif)
Книга (аналит. описание)
Автор:
Методы литографии в наноинженерии: Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Методы литографии в наноинженерии: Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии // Методы литографии в наноинженерии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 86-111 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 9) .
Способы повышения разрешающей способности процесса проекционной литографии // Методы литографии в наноинженерии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 86-111 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 9) .