Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шаныгин, В. Я. - Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на ...
Шаныгин, В. Я. - Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на ...
Статья
Автор: Шаныгин, В. Я.
Физика и техника полупроводников: Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на ...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шаныгин, В. Я.
Физика и техника полупроводников: Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на ...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Шаныгин, В. Я.
Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на монокристаллическом кремнии / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 11 . – С. 1542-1548 .
Шаныгин, В. Я.
Структурирование субмонослойных углеродных покрытий, осажденных в СВЧ плазме низкого давления на монокристаллическом кремнии / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 11 . – С. 1542-1548 .
Привязано к:
Доступно
1 из 1
Выпуск
Физика и техника полупроводников Т. 45, N 11
2011 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Физика и техника полупроводников Т. 45, N 11
2011 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный