Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ундалов, Ю. К. - Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легир...
Ундалов, Ю. К. - Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легир...
Статья
Автор: Ундалов, Ю. К.
Физика и техника полупроводников: Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легир...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Ундалов, Ю. К.
Физика и техника полупроводников: Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легир...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Ундалов, Ю. К.
Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легированного эрбием и кислородом, a-SiOx : H (Er,O), с помощью dc-магнетрона / Ю. К. Ундалов, Е. И. Теруков, О. Б. Гусев, В. М. Лебедев, И. Н. Трапезникова // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 12 . – С. 1667-1677 .
Ундалов, Ю. К.
Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легированного эрбием и кислородом, a-SiOx : H (Er,O), с помощью dc-магнетрона / Ю. К. Ундалов, Е. И. Теруков, О. Б. Гусев, В. М. Лебедев, И. Н. Трапезникова // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 12 . – С. 1667-1677 .