Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Тимошина, М. И. - Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния
Тимошина, М. И. - Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Тимошина, М. И.
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: Изд-во МИСиС, 2011 г.
ISBN отсутствует
Автор: Тимошина, М. И.
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: Изд-во МИСиС, 2011 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
Т-417а
Тимошина, М. И.
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / М. И. Тимошина ; науч. рук. Ю. В. Осипов . – М. : Изд-во МИСиС, 2011 . – 21с. : рис. + Библиогр.: с. 19-21 .
621.315.592.2:546.28(043.3)
461444 19:Фонд дис.МИСиС
Т-417а
Тимошина, М. И.
Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / М. И. Тимошина ; науч. рук. Ю. В. Осипов . – М. : Изд-во МИСиС, 2011 . – 21с. : рис. + Библиогр.: с. 19-21 .
621.315.592.2:546.28(043.3)
461444 19:Фонд дис.МИСиС