Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Фарафонов, С. Б. - Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
Фарафонов, С. Б. - Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Фарафонов, С. Б.
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
2011 г.
ISBN отсутствует
Автор: Фарафонов, С. Б.
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
2011 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Автореферат
Ф-24а
Фарафонов, С. Б.
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / С. Б. Фарафонов; науч. рук. А. С. Артемов ; РАН, Ин-т общей физики . – М., 2011 . – 28с. : рис. + Библиогр.: с. 26-28 .
621.315.592(043.3)
461455 20:Фонд дис.др.орг.
Ф-24а
Фарафонов, С. Б.
Химико-механическое полирование монокристаллов ZnO, NiSb, Cu и цилиндрических подложек Si : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / С. Б. Фарафонов; науч. рук. А. С. Артемов ; РАН, Ин-т общей физики . – М., 2011 . – 28с. : рис. + Библиогр.: с. 26-28 .
621.315.592(043.3)
461455 20:Фонд дис.др.орг.