Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Сивошинская, Т. И.
Изучение поведения микропримеси углерода в процессе очистки и водородного восстановления трихлорсилана / Т. И. Сивошинская, Э. П. Бочкарев, Ю. В. Юшков, Л. Иванов, А. В. Макешина, С. Г. Дубровская // Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ГИРЕДМЕТ. Научные труды . – М. : Металлургиздат, 1959. - 33/200 : Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов / Гиредмет, Б. А. Сахаров . – М. : Металлургия, 1971 . – С. 53-55 .