Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга
N2209 II-6 Ю-839

Юрчук, С. Ю.
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С. Ю. Юрчук ; МИСиС, Каф. полупроводниковой электроники и физики полупроводников . – М. : Изд-во МИСиС, 2013 . – 44с. : рис. + Библиогр.: с. 44 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=533331 . - Пособие МИСиС . - ISBN 978-5-87623-662-3 .

537.533.2(075.8)

Общий = Материаловедение : наноматериалы
Грифы = 2: УМО и НМС
Дисциплины = Б1 Дисциплины (модули) : Вариативная часть : Полупроводниковая наноэлектроника

481161 01:Книгохранение
481162 01:Книгохранение
481163 01:Книгохранение
481164 01:Книгохранение
481165 01:Книгохранение
481166 01:Книгохранение
481167 01:Книгохранение
481168 01:Книгохранение
481169 01:Книгохранение
481170 01:Книгохранение
481171 01:Книгохранение
481172 01:Книгохранение
481173 01:Книгохранение
481174 01:Книгохранение
481175 01:Книгохранение
481176 01:Книгохранение
481177 01:Книгохранение
481178 01:Книгохранение
481179 01:Книгохранение
481180 01:Книгохранение