Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Курочка, А. С. - Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч...
Курочка, А. С. - Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2013 г.
ISBN отсутствует
Автор: Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2013 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
К-935д
Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. С. Курочка ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2013 . – 149с. : рис. + Библиогр.: с. 137-149 .
621.315.592:539.216(043.3)
Общий = Материаловедение : полупроводники
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
517827 19:Фонд дис.МИСиС
К-935д
Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. С. Курочка ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2013 . – 149с. : рис. + Библиогр.: с. 137-149 .
621.315.592:539.216(043.3)
Общий = Материаловедение : полупроводники
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
517827 19:Фонд дис.МИСиС