Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Курочка, А. С. - Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч...
Курочка, А. С. - Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2013 г.
ISBN отсутствует
Автор: Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленоч... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2013 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Автореферат
К-935а
Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. С. Курочка ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2013 . – 24с. : рис. + Библиогр.: с. 22-24 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=538966 .
517856 19:Фонд дис.МИСиС
К-935а
Курочка, А. С.
Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / А. С. Курочка ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2013 . – 24с. : рис. + Библиогр.: с. 22-24 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=538966 .
517856 19:Фонд дис.МИСиС