Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Завялец, Е. Г. - Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распыл...
Завялец, Е. Г. - Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распыл...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Завялец, Е. Г.
Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распыл... : дис... к.т.н., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов"
Издательство: [МИСиС], 1974 г.
ISBN отсутствует
Автор: Завялец, Е. Г.
Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распыл... : дис... к.т.н., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов"
Издательство: [МИСиС], 1974 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
З-139дсп
Завялец, Е. Г.
Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распылением для защиты полупроводниковых структур : дис... к.т.н., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов" / Е. Г. Завялец ; науч. рук. И. Л. Ройх, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1974 . – 159 с. : ил. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Физика : полупроводники
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
СП-6390 21:Фонд дис.ДСП МИСИС
З-139дсп
Завялец, Е. Г.
Исследование и разработка технологии получения пленок двуокиси кремния реактивным катодным распылением для защиты полупроводниковых структур : дис... к.т.н., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов" / Е. Г. Завялец ; науч. рук. И. Л. Ройх, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1974 . – 159 с. : ил. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Физика : полупроводники
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
СП-6390 21:Фонд дис.ДСП МИСИС