Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Горелик, С. С.
Преципитация углерода и меди в кремнии при его диффузионно-термических обработках / С. С. Горелик, А. Ю. Малинин, М. И. Менделев, А. И. Сидоров, А. П. Виданов, И. Е. Купцова, Ю. Е. Белоусова, В. В. Зотов, Ю. М. Литвинов // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.83: Твердые растворы элементарных полупроводников и полупроводниковых соединений : Сборник статей / МИСиС, С. С. Горелик, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1974 . – 16-27 .

Обсуждается характер поведения углерода и меди в кремнии в связи с диффузионно-термическими обработками последнего. Сообщаются некоторые экспериментальные данные по изучению природы выделившихся фаз. Показано, что обнаруженные дефекты связаны с поверхностными эффектами, имеющими место при окислении. Обсуждается природа дефектов, изученная с помощью методов оптической, инфракрасной и трансмиссионной электронной микроскопии, а также с привлечением микрорентгеноспектрального анализа. Представлено экспериментальное доказательство влияния преципитатов меди и углерода на совершенство эпитаксиальных слоев.