Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Бублик, В. Т.
Исследование фазового состояния примеси в сильно легированном сурьмой кремнии / В. Т. Бублик, С. С. Горелик, М. А. Хацернов // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.83: Твердые растворы элементарных полупроводников и полупроводниковых соединений : Сборник статей / МИСиС, С. С. Горелик, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1974 . – 34-48 .

С помощью методов рентгеновской топографии установлено, что в кристаллах кремния, легированных сурьмой до удельного электросопротивления >0,005 Ом*см, вся сурьма находится в твердом растворе, в том числе и на полосах роста, обогащенных примесью. Объяснен механизм формирования топографического контраста на полосах роста. Указанный контраст имеет динамическую природу и возникает из-за приповерхностной деформации отражающих плоскостей вследствие релаксации напряжений между ними.