Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Лысов, Б. С.
Осаждение из газовой фазы сплавов вольфрам-тантал и вольфрам-тантал-углерод / Б. С. Лысов, В. Н. Аникин // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.138: Высокотемпературные материалы : Сб.статей / МИСиС, В. П. Елютин . – М. : Металлургия, 1982 . – 124-130 .

Рассмотрен процесс совместного осаждения W и Ta из паров их хлоридов без и с добавкой метана в паро-газовую смесь. Показана связь между условиями процесса, его скоростью и составом продуктов реакции. Отмечены условия, при которых осадок образуется в форме покрытия.