Электронный каталог -Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2

Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2

Доступно
1 из 1

Автореферат
Автор: Миронов, А. С.
Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2 : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.17.16
Издательство: [МИСиС], 1982 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Автореферат
М-641асп

Миронов, А. С.
Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2 : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.17.16 / А. С. Миронов, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1982 . – 24 с. - (Для служебного пользования).

Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Электротехника : электроника : полупроводниковая электроника

СП-14739 21:Фонд дис.ДСП МИСИС