Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Бахрушин, В. Е. - Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихл...
Бахрушин, В. Е. - Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихл...
Статья
Автор: Бахрушин, В. Е.
Цветные металлы: Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихл...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Бахрушин, В. Е.
Цветные металлы: Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихл...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Бахрушин, В. Е.
Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихлорсилана / Магний, титан, редкие металлы, полупроводники / В. Е. Бахрушин, В. И. Бакуменко, В. П. Токарев, В. А. Ольховой // Цветные металлы . – 1998 . – N 1 . – 56-57 .
Бахрушин, В. Е.
Однородность толщины эпитаксиальных слоев кремния, получаемых при водородном восстановлении трихлорсилана / Магний, титан, редкие металлы, полупроводники / В. Е. Бахрушин, В. И. Бакуменко, В. П. Токарев, В. А. Ольховой // Цветные металлы . – 1998 . – N 1 . – 56-57 .