Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
![](/vmsua5379ghkip/app/webroot/img/doctypes/7.gif)
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) наноимпринт-литографии. Базовый технологический маршрут и современное оборудование наноимпринт-литографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 128-144 .
5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) наноимпринт-литографии. Базовый технологический маршрут и современное оборудование наноимпринт-литографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 128-144 .