Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) электронной литографии. Современное оборудование электронной литографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 145-170 .
6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) электронной литографии. Современное оборудование электронной литографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 145-170 .
Привязано к:
Доступно
3 из 3
Книга
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справ. рук-во
Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4
Библиотека МИСиС : Научный
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справ. рук-во
Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4
Библиотека МИСиС : Научный