Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и констр...
7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и констр...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и констр...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и констр...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и конструкционно-технологические параметры оборудования. Технологические характеристики операций нанолитографии и параметры структур // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 171-216 .
7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и конструкционно-технологические параметры оборудования. Технологические характеристики операций нанолитографии и параметры структур // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 171-216 .
Привязано к:
Доступно
3 из 3
Книга
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справ. рук-во
Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4
Библиотека МИСиС : Научный
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справ. рук-во
Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4
Библиотека МИСиС : Научный