Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP
4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP
Книга (аналит. описание)
Автор:
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения: 4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения: 4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP // Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман . – М. : Техносфера, 2018 . – С. 222-371 .
4. Плазмохимическое травление различных материалов с помощью источников ICP // Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман . – М. : Техносфера, 2018 . – С. 222-371 .
Привязано к:
Доступно
3 из 3
Книга
Берлин, Е. В.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Техносфера, 2018 г.
ISBN 978-5-94836-519-0
Библиотека МИСиС : Научный
Берлин, Е. В.
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Техносфера, 2018 г.
ISBN 978-5-94836-519-0
Библиотека МИСиС : Научный