Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Артемов, А. С.
Применение технологии химико-механического полирования для изготовления полупроводниковых квантовых генераторов / А. С. Артемов // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : труды Междунар. молодежой конф. в рамках Фестиваля науки (г. Астрахань, 2-3 окт. 2012г.) / М-во образования и науки РФ, Астрахан. гос. ун-т . – Астрахань : ИД Астраханский ун-т, 2012 . – С. 46-56 .