Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Курочка, А. С.
Физико-технологические особенности изменения тока вторичных электронов в процессе реактивного ионно-лучевого травления / А. С. Курочка, Г. Д. Кузнецов, А. А. Сергиенко, С. П. Курочка // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : труды Междунар. молодежой конф. в рамках Фестиваля науки (г. Астрахань, 2-3 окт. 2012г.) / М-во образования и науки РФ, Астрахан. гос. ун-т . – Астрахань : ИД Астраханский ун-т, 2012 . – С. 356-360 .