Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Лисовский, И. П.
Фазово-структурные превращения в пленках SiOx в процессе вакуумных термообработок / Аморфные, стеклообразные и пористые полупроводники / И. П. Лисовский, И. З. Индутный, Б. Н. Гненный, П. М. Литвин, Д. О. Мазунов, А. С. Оберемок, Н. В. Сопинский, П. Е. Шепелявый // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2003 . – Т. 37, N 1 . – с. 98-103 .