Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Павлов, Д. А. - Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния
Павлов, Д. А. - Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния
Статья
Автор: Павлов, Д. А.
Физика и техника полупроводников: Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Павлов, Д. А.
Физика и техника полупроводников: Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Павлов, Д. А.
Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния / Д. А. Павлов, В. Г. Шенгуров, Д. В. Шенгуров, А. Ф. Хохлов // Физика и техника полупроводников . – 1995 . – Т. 29, N 2 . – с. 286-290 .
Павлов, Д. А.
Получение методом сублимации легированных пленок поликристаллического кремния / Д. А. Павлов, В. Г. Шенгуров, Д. В. Шенгуров, А. Ф. Хохлов // Физика и техника полупроводников . – 1995 . – Т. 29, N 2 . – с. 286-290 .