Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ионно-плазменное травление
Ионно-плазменное травление
Книга (аналит. описание)
Автор:
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов: Ионно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов: Ионно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Ионно-плазменное травление // Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев . – М. : Энергоатомиздат, 1987 . – С. 88-107 .
Ионно-плазменное травление // Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев . – М. : Энергоатомиздат, 1987 . – С. 88-107 .