Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с на...
Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с на...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Методы литографии в наноинженерии: Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с на...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Методы литографии в наноинженерии: Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с на...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с наноразмерными элементами // Методы литографии в наноинженерии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 32-46 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 9) .
Используемые материалы и применяемое литографическое оборудование при производстве КМОП СБИС с наноразмерными элементами // Методы литографии в наноинженерии : учебно-метод. комплекс по темат. напр. деятельности ННC 'Наноинженерия': учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по напр. 152200 'Наноинженерия' / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; ред. В. А. Шахнов . – М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана, 2011 . – С. 32-46 . – (Б-ка 'Наноинженерия' ; кн. 9) .