Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Справочник индексов УДК
К списку индексов УДК
Доступно
1 из 1
Доступно
1 из 1
621.315.592:546.28:548.25(043.3)
Сортировать по: заглавиюдате издания
Доступно
1 из 1
Диссертация
Гришко, А. С.
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках...: дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников,
[МИСиС], 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Гришко, А. С.
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках...: дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников,
[МИСиС], 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Заказать 
На полку Доступно
1 из 1
Автореферат
Гришко, А. С.
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках...: автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства
[МИСиС], 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Гришко, А. С.
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках...: автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства
[МИСиС], 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный