Электронный каталог -Полунин, В. Н. - Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Полунин, В. Н. - Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем...

Полунин, В. Н. - Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем...

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотем... : дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов"
Издательство: [МИСиС], 1977 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация

Полунин, В. Н.
Исследование и получение слоев двуокиси кремния и кремния в кислород- и хлоро-содержащей низкотемпературной плазме : дис..., спец. 05.17.16 - "Технология полупроводниковых и электровакуумных материалов" / В. Н. Полунин . – М. : [МИСиС], 1977 . – 178 с. : ил. + Библиогр. в конце дис. - Для служебного пользования.

Общий = Физика : плазма
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Физика : полупроводники

СП-8703 21:Фонд дис.ДСП МИСиС