Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Скворцов, И. М. - Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про...
Скворцов, И. М. - Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про... : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1989 г.
ISBN отсутствует
Автор: Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в про... : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1989 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в промышленных системах газофазной эпитаксии кремния : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 / И. М. Скворцов . – М. : [МИСиС], 1989 . – 42 с. - Для служебного пользования.
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Кристаллография : кристаллы : рост
Общий = Металлургия : металлургические процессы : легирование
СП-22578 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
Скворцов, И. М.
Физико-технологические основы процессов низкотемпературного, локального роста и легирования в промышленных системах газофазной эпитаксии кремния : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 / И. М. Скворцов . – М. : [МИСиС], 1989 . – 42 с. - Для служебного пользования.
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Кристаллография : кристаллы : рост
Общий = Металлургия : металлургические процессы : легирование
СП-22578 21:Фонд дис.ДСП МИСиС