Электронный каталог -Смирнова, Н. Б. - Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Смирнова, Н. Б. - Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге

Смирнова, Н. Б. - Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Смирнова, Н. Б.
Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков"
1978 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация

Смирнова, Н. Б.
Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков" / Н. Б. Смирнова, С. С. Горелик, А. П. Карацюпа . – 1978 . – 191 с. : ил., прил.: с. 167-183. + Библиогр.: с. 167-183. - (НИИ 'Сапфир'). - Для служебного пользования.

Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Материаловедение : полупроводники

СП-10049 23:Фонд дис.ДСП др.орг.