Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Собакин, К. М. - Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-...
Собакин, К. М. - Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Собакин, К. М.
Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-... : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков"
Издательство: [МИСиС], 1985 г.
ISBN отсутствует
Автор: Собакин, К. М.
Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-... : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков"
Издательство: [МИСиС], 1985 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
Собакин, К. М.
Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-плазменным распылением, и их применение в микроэлектронных устройствах : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков" / К. М. Собакин . – М. : [МИСиС], 1985 . – 229 с. : ил. + Библиогр.: с. 211-228. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : электричество : диэлектрики
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
СП-17940 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
Собакин, К. М.
Пути снижения уровня макронапряжений в диэлектрических пленках SiO2 и Al2O3, полученных ВЧ ионно-плазменным распылением, и их применение в микроэлектронных устройствах : дис... к.т.н., спец. 01.04.10 - "Физика полупроводников и диэлектриков" / К. М. Собакин . – М. : [МИСиС], 1985 . – 229 с. : ил. + Библиогр.: с. 211-228. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : электричество : диэлектрики
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
СП-17940 21:Фонд дис.ДСП МИСиС