Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление
Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление
Книга (аналит. описание)
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.51-68 . – ( ; 36) .
Технологические основы вакуумно-плазменного травления: Реактивное ионно-лучевое травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.51-68 . – ( ; 36) .
Привязано к:
Доступно
1 из 1
Книга
Киреев, В. Ю.
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Радио и связь, 1983 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Киреев, В. Ю.
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Радио и связь, 1983 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный