Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Реактивное ионно-плазменное травление
Реактивное ионно-плазменное травление
Книга (аналит. описание)
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Реактивное ионно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Реактивное ионно-плазменное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Реактивное ионно-плазменное травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.69-82 . – ( ; 36) .
Реактивное ионно-плазменное травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.69-82 . – ( ; 36) .