Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Радикальное травление
Радикальное травление
Книга (аналит. описание)
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Радикальное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: Радикальное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Радикальное травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.100-116 . – ( ; 36) .
Радикальное травление // Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов . – М. : Радио и связь, 1983 . – с.100-116 . – ( ; 36) .