Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 4. Технология ядерного легирования кремния. 4.1. Технологическая схема процесса ядерного легирования. 4.2. Обеспечение равномерного облучения слитков в ядерных реакторах. 4.3. Отжиг. 4.4. Электрофизические свойства ядерно-легированного кремния. 4.5. Влияние предыстории материала и параметров нейтронного потока на электрофизические свойства ядерно-легированного кремния. 4.6. Радиоактивность ядерно-легированного кремния. 4.7. Применение ядерно-легированного кремния в производстве приборов. 4.8. Применение метода ядерных превращений для других материалов // Легирование полупроводников методом ядерных реакций / Л. С. Смирнов, С. П. Соловьев, В. Ф. Стась, В. А. Харченко ; отв. ред. Л. С. Смирнов . – Новосибирск : Наука, 1981 . – с. 129-175 .