Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Глава 6. Диффузия в кремнии: Диффузия донорных и акцепторных примесей в кремнии. Самодиффузия и диффузия элементов IV группы в кремнии. Диффузия и подвижность ионов лития в кремнии. Диффузия щелочных элементов. Диффузия меди в кремнии. Быстродиффундирующие примеси в кремнии. Влияние постоянного электрического поля на диффузию золота и серебра в кремнии. Проникновение, растворение и диффузия газов в кремнии. О некотором различии в механизме диффузии примесей в германии и кремнии. Термические дефекты в кремнии // Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках / Б. И. Болтакс . – М. : Наука, 1972 . – с. 147-171 .