Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Семенов, Э. И. - Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэ...
Семенов, Э. И. - Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэ...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Семенов, Э. И.
Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэ... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.13
1974 г.
ISBN отсутствует
Автор: Семенов, Э. И.
Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэ... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.13
1974 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
С-302а
Семенов, Э. И.
Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэлектрических слоев в технологии интегральных схем : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.13 / Э. И. Семенов . – 1974 . – 18 с. - (Моск.авиац. технол. ин-т им.К.Э.Циолковского). (Для служебного пользования).
СП-6082 23:Фонд дис.ДСП др.орг.
С-302а
Семенов, Э. И.
Разработка и исследование фотометрических методов контроля и регулирования скорости осаждения диэлектрических слоев в технологии интегральных схем : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.12.13 / Э. И. Семенов . – 1974 . – 18 с. - (Моск.авиац. технол. ин-т им.К.Э.Циолковского). (Для служебного пользования).
СП-6082 23:Фонд дис.ДСП др.орг.