Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Голикова, О. А.
Модификации структуры и электрических параметров пленок аморфного гидрированного кремния, имплантированных ионами Si+ / Аморфные, стеклообразные и пористые полупроводники / О. А. Голикова, А. Н. Кузнецов, В. Х. Кудоярова, И. Н. Петров, Э. П. Домашевская, В. А. Терехов // Физика и техника полупроводников . – 2000 . – Т. 34, N 1 . – 86-89 .