Электронный каталог -Горчика, Т. - Гл.4. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Горчика, Т. - Гл.4. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок

Горчика, Т. - Гл.4. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок

Книга (аналит. описание)
Автор: Горчика, Т.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.4. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Книга (аналит. описание)

Горчика, Т.
Гл.4. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок / Т. Горчика, Б. Горовитц // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 73-93 .