Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Хит, Б. А. - Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление
Хит, Б. А. - Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление
Книга (аналит. описание)
Автор: Хит, Б. А.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Хит, Б. А.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Хит, Б. А.
Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление / Б. А. Хит, Т. М. Мейер // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 322-366 .
Хит, Б. А.
Гл.10. Реактивное ионно-лучевое травление / Б. А. Хит, Т. М. Мейер // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 322-366 .