Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Харшбарджер, У. Р. - Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления
Харшбарджер, У. Р. - Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления
Книга (аналит. описание)
Автор: Харшбарджер, У. Р.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Харшбарджер, У. Р.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Харшбарджер, У. Р.
Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления / У. Р. Харшбарджер // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 367-401 .
Харшбарджер, У. Р.
Гл.11. Диагностика плазмы и определение момента окончания процесса травления / У. Р. Харшбарджер // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 367-401 .
Привязано к:
Доступно
4 из 4
Книга
Плазменная технология в производстве СБИС
Мир, 1987 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСИС : Научный
Плазменная технология в производстве СБИС
Мир, 1987 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСИС : Научный