Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Чоу, Т. П. - Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления
Чоу, Т. П. - Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления
Книга (аналит. описание)
Автор: Чоу, Т. П.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Чоу, Т. П.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Чоу, Т. П.
Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления / Т. П. Чоу // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 442-463 .
Чоу, Т. П.
Гл.13. Новые структуры, изготовленные с помощью сухого анизотропного травления / Т. П. Чоу // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 442-463 .