Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Бурмаков, А. П.
Управление расходом газа в технологических процессах ионно-плазменного и ионно-лучевого осаждения многослойных покрытий с заданными свойствами / Функциональные покрытия и обработка поверхности / А. П. Бурмаков, И. И. Игнатенко, К. В. Коротков, В. Е. Черный // Физика и химия обработки материалов . – 2000 . – N 4 . – 71-74 .