Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Демидов, Е. С. - Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремни...
Демидов, Е. С. - Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремни...
Статья
Автор: Демидов, Е. С.
Физика и техника полупроводников: Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремни...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Демидов, Е. С.
Физика и техника полупроводников: Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремни...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Демидов, Е. С.
Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремния в слоях SixNy, сформированных ионной имплантацией / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / Е. С. Демидов, В. В. Карзанов, Д. А. Лобанов, К. А. Марков, В. В. Сдобняков // Физика и техника полупроводников . – 2001 . – Т. 35, N 1 . – 21-24 .
Демидов, Е. С.
Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремния в слоях SixNy, сформированных ионной имплантацией / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / Е. С. Демидов, В. В. Карзанов, Д. А. Лобанов, К. А. Марков, В. В. Сдобняков // Физика и техника полупроводников . – 2001 . – Т. 35, N 1 . – 21-24 .
Привязано к:
Доступно
1 из 1
Выпуск
Физика и техника полупроводников Т. 35, N 1
2001 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Физика и техника полупроводников Т. 35, N 1
2001 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный