Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Борисенко, В. Е. - Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащи...
Борисенко, В. Е. - Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащи...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Борисенко, В. Е.
Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащи... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1990 г.
ISBN отсутствует
Автор: Борисенко, В. Е.
Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащи... : дис... к.т.н., спец. 05.27.06
Издательство: [МИСиС], 1990 г.
ISBN отсутствует
Диссертация
Б-825дсп
Борисенко, В. Е.
Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 / В. Е. Борисенко . – М. : [МИСиС], 1990 . – 223 с. + Библиогр.: с. 198-218. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Материаловедение : полупроводники
СП-24062 21:Фонд дис.ДСП МИСиС
Б-825дсп
Борисенко, В. Е.
Разработка и исследование ионно-плазменного процесса получения многокомпонентных кремнийсодержащих пленок с использованием электронного воздействия : дис... к.т.н., спец. 05.27.06 / В. Е. Борисенко . – М. : [МИСиС], 1990 . – 223 с. + Библиогр.: с. 198-218. - Для служебного пользования.
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Материаловедение : полупроводники
СП-24062 21:Фонд дис.ДСП МИСиС