Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Галахов, В. Р.
Формирование центров нуклеации макропор в кремнии с помощью ионной имплантации / Аморфные, стеклообразные и пористые полупроводники / В. Р. Галахов, И. В. Антонова, С. Н. Шамин, В. И. Аксенова, В. И. Ободников, А. К. Гутаковский, В. П. Попов // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2002 . – Т. 36, N 5 . – с. 598-603 .