Электронный каталог -Исследование и разработка метода получения диэлектрической изоляции для интегральных схем в низко...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Исследование и разработка метода получения диэлектрической изоляции для интегральных схем в низко...

Исследование и разработка метода получения диэлектрической изоляции для интегральных схем в низко...

Доступно
1 из 1

Книга
Автор:
Исследование и разработка метода получения диэлектрической изоляции для интегральных схем в низко...
Издательство: [МИСиС], 1976 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Книга

Исследование и разработка метода получения диэлектрической изоляции для интегральных схем в низкотемпературной плазме. Разд. Обработка режимов получения слоев двуокиси кремния и поликристаллического кремния в ВЧ разряде / В. В. Крапухин, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1976 . – 77 с. : ил. - ГР N 74029748. Инв. N Б555053. - Для служебного пользования.

Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Физика : плазма
Общий = Физика : электричество : диэлектрики

СП-8548 27:Фонд отчетов ДСП МИСиС