Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Ульяшин, А. Г.
Применение водородно-плазменной технологии для модификации свойств кремния и создания структур на его основе / Плазмохимические способы получения и обработки материалов / А. Г. Ульяшин, А. К. Федотов, Р. Джоб, В. Р. Фарнер, А. В. Мазаник // Физика и химия обработки материалов . – 2000 . – N 5 . – 22-27 .