Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Антонова, И. В.
Проводимость структур кремний-на-изоляторе, полученных сращиванием пластин кремния с подложкой с использованием имплантации водорода / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / И. В. Антонова, В. Ф. Стась, В. П. Попов, В. И. Ободников, А. К. Гутаковский // Физика и техника полупроводников . – 2000 . – Т. 35, N 9 . – 1095-1098 .